Ŭ¸¯ÇÏ½Ã¸é ´õ Å«À̹ÌÁö¸¦ º¸½Ç ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù
Á¶ÇöÁØ »çÀå - ã¼ ´ç¼±â ¸¸³ª
NF3 µî »ç¾÷Çù·Â ¹æ¾È ÇùÀÇ
È¿¼ºÀÇ Áß±¹ »ç¾÷À» ÁÖµµÇÏ°í ÀÖ´Â Á¶ÇöÁØ(»çÁø) Àü·«º»ºÎÀå(»çÀå)ÀÌ 19ÀÏ Áß±¹ ÀúÀå(ïºË°)¼º ÃëÀú¿ì(ÏÃñ¶)½Ã¿¡¼ õ½Å(òçãæ) ÃëÀú¿ì½Ã ´ç¼±â¿Í ¸¸³ª Áß±¹ »ç¾÷¿¡ ´ëÇÑ Çù·Â ¹æ¾ÈÀ» ³íÀÇÇß´Ù.
õ ´ç¼±â´Â 2012³â ÃëÀú¿ì½Ã ÃÖ¿¬¼Ò ´ç¼±â°¡ µÈ µÚ ÃëÀú¿ì Áö¿ªÀ» Áß½ÉÀ¸·Î ÇÑ ÀúÀ强ÀÇ »ê¾÷´ÜÁö Á¶¼º¡¤°³¹ßÀ» À̲ø¾î¿Â Àι°ÀÌ´Ù. ÃëÀú¿ì½Ã´Â °¢ »ê¾÷ ºÐ¾ßº° »ê¾÷´ÜÁö¸¦ Á¶¼ºÇÏ´Â µî ±â¾÷ÅõÀÚ¸¦ À¯Ä¡Çϱâ À§ÇØ Àû±Ø ³ª¼°í ÀÖÀ¸¸ç È¿¼ºÀÇ ÅõÀÚ¿¡ ´ëÇÑ °¨»çÀÇ ¶æÀ¸·Î ÃëÀú¿ì ½Ã³» Á߽ɵµ·Î¸¦ ¡®È¿¼º´ë·Î(üûàøÓÞÖØ)¡¯¶ó°í ¸í¸íÇϱ⵵ Çß´Ù.
Á¶ »çÀåÀº À̳¯ õ ´ç¼±â¸¦ ¸¸³ª È¿¼ºÀÇ Áß±¹ ³» ÁÖ¿ä »ç¾÷°ú ÅõÀÚ ³»¿ëÀ» ¼Ò°³ÇÏ°í ½ºÆǵ¦½º, »ïºÒÈÁú¼Ò(NF3), ÁßÀü±â µî ÁÖ·Â »ç¾÷¿¡ ´ëÇÑ ÀÇ°ßÀ» ³ª´³´Ù.
Á¶ »çÀåÀº ÀÌ ÀÚ¸®¿¡¼ ¡°È¿¼ºÀº Áö³ 1990³â´ë ÈÄ¹Ý Áß±¹¿¡ óÀ½ ÁøÃâÇÑ ÀÌÈÄ 20³â °¡±îÀÌ ¼º°øÀûÀ¸·Î »ç¾÷À» ÁøÇàÇØ ¿Ô´Ù¡±¸ç ¡°ÃëÀú¿ì Áö¿ª¿¡ °Ç¼³ ÁßÀÎ ½ºÆǵ¦½º °øÀå°ú NF3 °øÀå ¿ª½Ã Áß±¹ ³» ÁÖ¿ä »ý»ê±âÁöÀÇ ÇÑ ÃàÀ¸·Î Å°¿ö³ª°¥ °Í¡±À̶ó°í ¸»Çß´Ù. õ ´ç¼±âµµ ¡°È¿¼ºÀÌ Çѱ¹ ±â¾÷À¸·Î´Â óÀ½À¸·Î ÃëÀú¿ì½Ã¿¡ ¹ÝµµÃ¼ ÇÙ½É ¼ÒÀçÀÎ NF3¿Í ¼ºÀå¿£ÁøÀÎ ½ºÆǵ¦½º »ç¾÷À» ÅõÀÚÇØÁà ¸Å¿ì °í¸¿´Ù¡±¸ç ¡°È¿¼º°ú ÃëÀú¿ì½Ã°¡ ¹ßÀüÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹Ì·¡¸¦ ²Þ²ÙÀÚ¡±°í ¸»Çß´Ù.
Á¶ »çÀåÀº Áö³ 1990³â´ë ÈÄ¹Ý ÇÁ·ÎÁ§Æ®ÆÀÀ» Á÷Á¢ ±¸¼º, Áß±¹ ½ÃÀå °ø·«À» ÁøµÎÁöÈÖÇß´Ù. È¿¼ºÀÇ ½ºÆǵ¦½º »ç¾÷Àº 2002³â ÀúÀ强 ½ºÆǵ¦½º °øÀåÀÌ º»°Ý °¡µ¿µÈ ÀÌÈÄ 5³â¸¸ÀÎ 2007³â Áß±¹ ½ÃÀå ³» Á¡À¯À² 1À§·Î ¿Ã¶ó¼¹À¸¸ç, À̸¦ ¹ßÆÇÀ¸·Î 2010³â ÀÌÈÄ ±Û·Î¹ú 1À§ ½ºÆǵ¦½º ¸ÞÀÌÄ¿ÀÇ ÁöÀ§¸¦ À¯ÁöÇÏ°í ÀÖ´Ù.
À¯È¸°æ ±âÀÚ yoology@munhwa.com