Áß±¹ È­¿þÀÌÀÇ ¼²ºÎ¸¥ ¹ÝµµÃ¼ ±¼±â[ÀÌöȣÀÇ ½Ã·Ð]

  • ¹®È­ÀϺ¸
  • ÀÔ·Â 2023-09-15 11:47
ÇÁ¸°Æ®
º»¹® ÆùÆ® Å©±â ¼³Á¤
Æ˾÷ ´Ý±â
ÀÌöȣ ³í¼³°í¹®

ñé 7³ª³ë ¼º°ø °ú´ëÆò°¡ ±Ý¹°
EUV ¾øÀÌ DUV·Î ¾ç»ê ºÒ°¡´É
ASML, ´ëÁß ºÀ¼â Âü°¡ ºÒ°¡ÇÇ

EUV´Â ¹Ì¡¤ÀÏ¡¤À¯·´ Áö½Ä ÇÕÀÛ
ñé µ¶ÀÚ °³¹ß ½Ãµµ´Â ºñÇö½ÇÀû
Çѱ¹¿£ ¿ÀÈ÷·Á ¡®À§ÀåµÈ Ãູ¡¯


È­¿þÀÌ°¡ 7³ª³ë±Þ ¹ÝµµÃ¼¸¦ ÀåÂøÇÑ ¡®¸ÞÀÌÆ® 60¡¯ ½º¸¶Æ®ÆùÀ» ¹ßÇ¥Çϸ鼭 Áß±¹¿¡ ¡®¾Ö±¹ ¼Òºñ¡¯ ¿­Ç³ÀÌ ºÒ°í ÀÖ´Ù. Áß±¹ Á¤ºÎ´Â °ø°ø ºÐ¾ßÀÇ ¾ÆÀÌÆù »ç¿ëÀ» ±ÝÁöÇØ ¡®±¹»Í¡¯ ±â¸§À» ºÎ¾ú´Ù. ¾ÖÇÃÀº ¾ÆÀÌÆù15 ½ÅÁ¦Ç° °¡°ÝÀ» µ¿°áÇÏ´Â ±Ø¾àó¹æÀ¸·Î ¸Â¼­°í ÀÖ´Ù. ±×¸¸Å­ Áß±¹ÀÌ ºÀ¼â¸ÁÀ» ¶Õ°í 7³ª³ë±Þ ¹ÝµµÃ¼¸¦ »ý»êÇÑ °ÍÀº ³î¶ó¿î ÀÏÀÌ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î ¼³°è ¹× ¿À·ù¸¦ ºÐ¼®ÇÏ´Â ÀüÀÚ¼³°èÀÚµ¿È­(EDA) ±¸Ã൵ ¼º°øÇß´Ù.

ÀÌ¿¡ ´ëÇØ »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ¹ÝÀÀÀº ÄðÇÏ´Ù. ³»ºÎ º¸°í¼­¿¡ µû¸£¸é ¡°´ë´ÜÇÑ ¹ßÀüÀÌÁö¸¸, À§ÇùÀûÀÌÁø ¾Ê´Ù¡±´Â ºÐÀ§±â´Ù. ¹Ì±¹Àº 2019³â ³×´ú¶õµå ASMLÀÇ ±ØÀڿܼ± ³ë±¤±â(EUV) ´ëÁß ¼öÃâÀ» ±ÝÁöÇß´Ù. EUV´Â ½ÉÀڿܼ± ³ë±¤±â(DUV)º¸´Ù ÆÄÀåÀÌ 14¹è ª¾Æ 7³ª³ë ÀÌÇÏ¿¡´Â Çʼö Àåºñ´Ù. ±×·±µ¥µµ Á߽űÅÁö(SMIC)´Â ±¸½Ä DUV·Î 7³ª³ë±Þ ±â¸° 9000s¸¦ ¸¸µé¾î È­¿þÀÌ¿¡ ³³Ç°Çß´Ù. SMICÀÇ ·®¸Û¾« ÃÖ°í°æ¿µÀÚ(CEO)´Â ´ë¸¸ÀÇ TSMC Ãâ½ÅÀÌ´Ù. 2019³â TSMC°¡ DUV·Î ¿©·¯ ¹ø ³ª´² ½Ä°¢ÇÏ´Â ¸ÖƼÆÐÅÍ´×À» ÅëÇØ 7³ª³ë »ý»ê¿¡ ¼º°øÇß´ø °ÍÀ» µû¶óÇÑ ¼ÀÀÌ´Ù. ¶Ç, Áß±¹Àº 3³â Àü ¼¼°è EDA ½ÃÀåÀÇ 90%¸¦ Àå¾ÇÇÑ ¹Ì±¹ ÄÉÀÌ´ø½º¿Í ½Ã³ñ½Ã½ºÀÇ ÀÓÁ÷¿øÀ» ´ë°Å ½ºÄ«¿ìÆ®Çß´Ù.

¡®È­¿þÀÌ ±âÀû¡¯ µÚ¿¡´Â 4³â Àü ´ë¸¸°ú ¹Ì±¹ÀÇ ±â¼úÀÌ ³ì¾Æ ÀÖ´Â °ÍÀÌ´Ù. ¸ÞÀÌÆ® 60ÀÌ »ó¾÷ÀûÀ¸·Î ¼º°øÇÒÁöµµ Àǹ®ÀÌ´Ù. Àü¹®°¡µéÀº TSMC °æÇè¿¡ ºñÃç ±â¸° 9000sÀÇ ¼öÀ²À» 50%·Î Ãß»êÇÑ´Ù. ¶Ç, ¸ÖƼÆÐÅÍ´×ÀÌ °ÅµìµÇ¸é »ý»êºñ¿ë°ú ºÒ·®·üÀº ±âÇϱ޼öÀûÀ¸·Î ´Ã¾î³ª°Ô µÈ´Ù. Á¤ºÎ º¸Á¶±Ý ¾øÀÌ´Â ¾ç»êÀÌ ¾î·Æ°í, ¼ÕÇظ¦ º¼ ¼ö¹Û¿¡ ¾ø´Â ±¸Á¶´Ù.

¾ÕÀ¸·Î°¡ ´õ ¹®Á¦´Ù. ÇöÀç ³ë±¤Àåºñ ½ÃÀåÀ» 97% Àå¾ÇÇÑ ASMLÀº ±¹Àû¸¸ ³×´ú¶õµåÀÏ »Ó, ¹Ì±¹ ijÇÇÅб׷ì(15.28%)°ú ºí·¢·Ï(7.69%)ÀÌ ´ëÁÖÁÖ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚµµ 0.7%ÀÇ ÁöºÐÀ» °®°í ÀÖ´Ù. ASMLÀÌ Ã³À½¿¡ ¹Ì±¹ÀÇ ´ëÁß ºÀ¼â¿¡ ¹Ý¹ßÇß´Ù°¡ °á±¹ µû¶ó¿Ã ¼ö¹Û¿¡ ¾ø¾ú´ø ÀÌÀ¯´Ù. ÀÌ¿¡ ¸Â¼­ Áß±¹µµ È­¿þÀÌ¡¤ÄªÈ­´ë¡¤Áß±¹°úÇбâ¼ú¿øÀÌ EUV °³¹ß µ¿¸ÍÀ» ¸Î¾ú´Ù. ÇÏÁö¸¸ ±â¼ú µ¶¸³Àº »ç½Ç»ó ºÒ°¡´É¿¡ °¡±õ´Ù. ¡®Àηù°¡ ¸¸µç ±â°è Áß °¡Àå Á¤±³ÇÑ Àåºñ¡¯¶ó´Â EUV µÚ¿¡´Â ±Û·Î¹ú ÷´Ü °ø±Þ¸ÁÀÌ ¼û¾î Àֱ⠶§¹®ÀÌ´Ù.

EUVÀÇ ºÎÇ° ºñÁßÀº ³×´ú¶õµå 32%, ¹Ì±¹ 27%, ÀϺ» 27%, µ¶ÀÏ¡¤ÇÁ¶û½º¡¤¿µ±¹ÀÌ 14%´Ù. ¹Ì±¹ÀÇ ±¤¿ø ±â¼ú, ¿µ±¹ÀÇ ÃÊÁø°ø ±â¼ú, µ¶ÀÏÀÇ ÃÊÁ¤¹Ð ¹Ý»ç±¤ °Å¿ïÀÌ ¾ø´Ù¸é ÀÛµ¿ÀÌ ºÒ°¡´ÉÇÏ´Ù. ¼­¹æ ¼¼°è ÃÖÀÏ·ù ±â¼ú¾÷üµéÀÇ ±³ÁýÇÕÀÎ °ÍÀÌ´Ù. ¼³»ç Áß±¹ÀÌ EUV °³¹ß¿¡ ¼º°øÇÑµé ¹Ì·¡°¡ º¸ÀåµÇ´Â °Íµµ ¾Æ´Ï´Ù. ½ÃÁ¦Ç° Á¦ÀÛÀº ¸ô¶óµµ ¾ç»êÀº ±¹Á¦ °æÀï·ÂÀ» °®Ãç¾ß ÇÏ´Â ¶Ç ´Ù¸¥ Â÷¿øÀÇ ¹®Á¦À̱⠶§¹®ÀÌ´Ù. ÀÌ¹Ì »ï¼ºÀüÀÚ¿Í TSMC´Â 3³ª³ë±Þ EUV ¾ç»ê¿¡ µé¾î°¬°í, ASMLÀº 2³â µÚ 2³ª³ë¿ë ÇÏÀÌ·»Áî ¼öÂ÷(NA) EUV °ø±ÞÀ» ¿¹°íÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¸ÓÁö¾Ê¾Æ 1³ª³ë¿ë EXE EUV °³¹ß¿¡µµ Âø¼öÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ASMLÀÇ À繫 ´ã´ç ·ÎÀú ´Ù¼¾Àº ¡°´©°¡ ¿ì¸®¸¦ µû¶óÀâ´Â´Ù Çصµ ±×¶§Âë ¿ì¸®´Â ¿ÏÀüÈ÷ ´Ù¸¥ °÷¿¡ °¡ ÀÖÀ» °Í¡±À̶ó Àå´ãÇÑ´Ù.

Áß±¹ÀÇ 7³ª³ë ÀÚ±ÞÀÚÁ·ÀÌ ´ë´ÜÇÑ ÀÏÀÓÀº Ʋ¸²¾ø´Ù. ƯÈ÷, ³»±¸¼º°ú ½Å·Ú¼ºÀÌ Áß¿äÇÑ ±º»ç¿ë¡¤ÀÚµ¿Â÷¿ë¡¤°¡ÀüÁ¦Ç°¿ë ¹ÝµµÃ¼´Â ¿©ÀüÈ÷ 10¡­30³ª³ë±ÞÀÌ ´ë¼¼´Ù. ±×·¸´Ù°í °ú´ëÆò°¡ÇÒ ÇÊ¿ä´Â ¾ø´Ù. EUV ¾øÀÌ 7³ª³ë ÀÌÇÏÀÇ ¾ç»êÀº ºÒ°¡´ÉÇÏ°í, ±¸½Ä DUVµµ Á¤±âÀûÀÎ º¸¼ö¡¤°ü¸® ¾øÀÌ´Â ¼º´ÉÀÌ °ïµÎ¹ÚÁúÇÑ´Ù. ¾Æ¹«¸® º¸Á¶±ÝÀ» Æۺξ »ý»êºñ¿ë°ú ºÒ·®·üÀÌ ±âÇϱ޼öÀûÀ¸·Î Ä¡¼ÚÀ» ¼ö¹Û¿¡ ¾ø´Ù. ¾î¼¸é Áß±¹ÀÇ 7³ª³ë ±âÀûÀº ¡®¸¶Áö¸· Á¤½Å½Â¸®¡¯¿¡ ºÒ°úÇÒÁö ¸ð¸¥´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ¿Í SKÇÏÀ̴нº´Â È­¿þÀÌ ¼îÅ©¿¡ ¾ÈµµÀÇ ÇѼûÀ» ½¬°í ÀÖ´Ù. ¿ÀÈ÷·Á ¡®À§ÀåµÈ Ãູ¡¯ÀÌ¶ó ¿©±â¸ç °¡½¿À» ¾µ¾î³»¸°´Ù. EUV ±Ý¼öÁ¶Ä¡°¡ ¾ø¾ú´Ù¸é Áß±¹ÀÌ ¹«¼­¿î ¼Óµµ·Î Ãß°ÝÇØ ¿ÔÀ» °Ô ºÐ¸íÇϱ⠶§¹®ÀÌ´Ù. È­¿þÀÌÀÇ ¼²ºÎ¸¥ ¹ÝµµÃ¼ ±¼±â·Î ¹Ì±¹ÀÇ °æ°è°¨ÀÌ ³ô¾ÆÁö°í Á¦Àç ±×¹°¸ÁÀÌ ´õ ÃÎÃÎÇØÁö´Â °Ô ´ÙÇེ·´´Ù´Â ºÐÀ§±â´Ù. ±×·¸´Ù°í ¸¶³É ¾È½ÉÇϴ ǥÁ¤Àº ¾Æ´Ï´Ù. ¾ðÁ¦ ¾îµð¼­ °ÔÀÓüÀÎÀú°¡ Åö Æ¢¾î³ª¿ÃÁö ¸ð¸£±â ¶§¹®ÀÌ´Ù. ¸¸ÀÇ Çϳª ź¼Ò ³ª³ë Æ©ºê°¡ ÇöÀçÀÇ ½Ç¸®ÄÜ ¹ÝµµÃ¼¸¦ ´ëüÇÒ ¼öµµ ÀÖ°í, »ó¿Â ÃÊÀüµµÃ¼°¡ °³¹ßµÇ¸é ¹ÝµµÃ¼ °³³ä ÀÚü¸¦ ¿ÏÀüÈ÷ µÚ¾þ¾î ¹ö¸± ¼öµµ ÀÖ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°èÀÇ ±äÀå°¨ÀÌ ¾î´À ¶§º¸´Ù ³ô¾ÆÁö°í ÀÖ´Ù.

photoŬ¸¯ÇÏ½Ã¸é ´õ Å«À̹ÌÁö¸¦ º¸½Ç ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù ÀÌöȣ ³í¼³°í¹®

ÁÖ¿ä´º½º
±â»ç´ñ±Û
AD
count
AD
AD
AD
ADVERTISEMENT