시스템으로 화학물질 ‘엄격 관리’… 드론으로 사각지대 위험요소 ‘체크’

■ ‘스마트 세이프티 경영’ 100년 기틀 다진다 - (2) 삼성전자

반도체산업은 미세공정이 주축
센서 일일이 탑재 OHT시스템
웨이퍼 운반때 장애·충돌 막아

생산 과정 화학물질 관리 중요
EU기준 유해물질 사용은 제한
취급자 정기적 교육·시설 점검

보행중 휴대전화 금지 의무화 등
안전사업장 위한 5대 규정 마련

세계 메모리 반도체 시장 1위이자, 2030년 시스템 반도체 1위를 향해 나아가고 있는 삼성전자는 ‘스마트 안전 경영’에 사활을 걸고 있다. 반도체 산업은 미세 공정이 주축인 데다가, 생산 과정에 쓰이는 화학물질 관리도 중요하다. 안전한 토대 위에서 생산 효율성 향상과 기술 개발을 꾀할 수 있으므로 세심한 관리는 필수다. 자체 반도체 제조 공정은 물론 화학물질 관리, 협력사의 제조 공정에 이르기까지 스마트 안전 시스템을 구축하고 체계적인 관리에 심혈을 기울이고 있다. 환경·사회·지배구조(ESG) 경영이 화두로 떠오르면서 환경과 안전에 관한 관심이 그 어느 때보다 높은 때이기에 삼성전자의 이 같은 행보가 더 주목받고 있다.

삼성전자 관계자는 17일 “글로벌 최고 수준의 안전한 사업장을 구축하기 위해 지속해서 잠재 위험을 발굴하고 위험성을 평가한다”며 “안전문화 정착을 위해 전사 안전관리 지표 운영, 안전문화 수준 평가, 안전한 작업환경 구축, 안전 역량 강화 등 다양한 활동을 수행하고 있다”고 설명했다.

◇스마트 안전 기술 토대서 1등 반도체 생산 = 삼성전자와 관련 업계에 따르면 반도체는 3주 이상 기간 제조 공정을 수백 차례 오가며 탄생한다. 이 과정에서 웨이퍼가 넓은 팹(Fab) 안에 있는 다양한 설비로 효율적으로 이동할 수 있도록 해주는 것이 풉(FOUP·웨이퍼를 담는 통)과 오에이치티(OHT·웨이퍼 이송장치)다.

FOUP은 웨이퍼를 보관하거나 안전하게 이동할 수 있게 고안된 용기를 말한다. OHT는 웨이퍼가 담긴 FOUP을 필요한 곳으로 이동시켜주는 배송장치(차량)다. OHT는 팹 천장에 도로처럼 설치된 레일을 따라 웨이퍼가 담긴 FOUP을 필요한 설비로 빠르게, 자동으로 운송하는 역할을 한다. 이 때문에 OHT는 반도체 라인의 생산 효율성 증대와 직결돼 있다. 이 같은 점을 고려해 삼성전자의 OHT 시스템은 이동 때 기기 간 충돌을 방지하고 장애물을 감지할 수 있는 센서가 일일이 탑재돼 있다. 위험이 발생하면 자동으로 감속해 안전한 이동이 가능하다는 게 삼성전자 측의 설명이다.

드론을 활용해 사업장 내 손이 닿지 않는 곳까지 점검할 수 있도록 촘촘한 관리 체계를 마련해 둔 것도 눈여겨볼 대목이다. 삼성전자는 2018년부터 담당자의 접근이 곤란하거나 근접 점검 시 위험도가 높은 장소와 설비 점검에 드론을 활용하고 있다. 이는 점차 글로벌 사업장으로 확대하는 중이다. 베트남 사업장은 지난 2019년 드론을 도입해 시설물의 부식, 파손, 균열 등을 점검하고 있다. 반도체 사업장의 시설물 상태를 자동으로 인식해 데이터를 수집·분석할 수 있는 기술도 개발해 사용하고 있다.


◇화학물질도 안전·체계적 관리 = 반도체 생산 과정에서 화학물질의 안전 관리도 빼놓을 수 없다. 삼성전자는 화학물질이 고객이나 임직원의 건강에 미치는 부정적인 영향을 최소화하는 데에 역점을 두고 안전한 관리에 온 힘을 쏟고 있다. 유럽연합(EU) 전기·전자제품 유해물질 사용제한 지침(RoHS)과 EU 화학물질의 등록, 평가, 허가, 제한 제도(REACH) 등 글로벌 환경 기준을 반영해 사내 규칙을 제정하고 엄격하게 관리한다.

삼성전자는 또, 모든 사업장에서 사용하는 화학물질에 대해 국가별 관련 법규와 ‘사내 규제물질 목록’에 따라 사용처를 엄격히 제한하고 있다. 협력회사가 화학물질을 안전한 작업환경에서 사용할 수 있도록 정기적 현장조사와 작업환경 개선 등 다양한 활동도 지원한다. 삼성전자 관계자는 “화학물질의 안전한 관리를 위해 취급자 정기교육, 저장 및 취급시설 점검 등을 실시하고 있다”면서 “환경 안전 전문가의 진단을 바탕으로 화학물질 취급시설의 안전 대책을 수립하고 있다”고 강조했다. 근본적으로 화학물질 사용량을 줄이기 위한 3단계 관리 활동, 즉 △대체물질 개발 △농도 저감 △사용 중지 등도 시행하고 있다.

삼성전자는 화학물질 구매부터 폐기까지 모든 과정을 시스템으로 관리한다. 각 사업장의 화학물질 취급자는 화학물질 구매 전 전문가 그룹에 사전평가를 의뢰하고, 적합 판정을 받은 경우에만 화학물질을 구매해 사용 중이다. 2020년에만 국내외 총 7829건의 사전평가를 진행했다. 화학물질이 입고된 후에는 정확한 사용량과 재고를 파악하고 최종적으로 폐기할 때까지 전 과정을 추적한다. 사용을 완료한 화학물질은 별도 절차를 거쳐 안전하게 폐기하고 있다.

화학물질 관련 사고 발생 시 피해를 최소화할 수 있도록 반도체 사업장 내 모든 건물을 대상으로 화학물질 관리 강화에 나섰다. 약품 주입 자동화, 방재 및 소화 장비 확보, 방류벽 설치 등 물리적인 조치와 함께 설비별 정밀 점검, 화학물질 누출 조기감지 및 전파 시스템 구축 등 프로세스도 강화했다. 화학물질이 누출될 경우 건물 내부·건물 외부·우수관·사업장 외곽 펜스 등 여러 단계별로 누출을 감지하고 조치할 수 있는 시스템을 구축, 강화함으로써 위험을 줄였다.

◇5대 안전 규정 마련…사소한 것부터 철저 관리 = 삼성전자는 ‘안전한 사업장을 위한 5대 안전 규정(Safety rule)’도 마련했다. 5대 안전 규정은 △보행 중 휴대전화 사용 금지(잠깐 멈춤) △보행 중 무단횡단 금지(건널목 이용) △운전 중 휴대전화 사용 금지(조작 필요시 갓길 정차) △운전 중 과속 금지(사내 제한속도 준수) △자전거 이용 중 헬멧 착용(미착용 시 도보·셔틀 이용) 등이다. 기본적인 안전 수칙부터 먼저 실천하자는 취지다. 임직원은 물론 방문객들에게도 똑같이 적용한다는 방침이다. 보행 중 휴대전화 사용 금지의 경우 지난 2016년부터 안전 캠페인의 하나로 권고해온 데 이어 최근 반드시 지켜야 하는 의무 규정으로 강화됐다.

삼성전자 관계자는 “이제 사업장 안전은 ‘선택’이 아닌 ‘필수’가 됐다”며 “안전사고를 막기 위해 최선을 다할 것”이라고 말했다.

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곽선미 기자 gsm@munhwa.com