<»õ·Î¿î 10³â, ½Å¼ºÀ嵿·ÂÀ» ã¾Æ¶ó>¡®7³ª³ë EUV¡¯ ¼¼°è ù ¾ç»ê¡¦ ¸Þ¸ð¸® ÀÌ¾î ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ¿ÕÁ ³ë¸°´Ù

  • ¹®È­ÀϺ¸
  • ÀÔ·Â 2019-12-18 14:57
ÇÁ¸°Æ®
º»¹® ÆùÆ® Å©±â ¼³Á¤
Æ˾÷ ´Ý±â

photoŬ¸¯ÇÏ½Ã¸é ´õ Å«À̹ÌÁö¸¦ º¸½Ç ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ½ÃÀå¿¡¼­ Ãʹ̼¼ °øÁ¤ ¡®ÃÊ°ÝÂ÷¡¯·Î 1À§ ±â¾÷ÀÎ ´ë¸¸ TSMC¸¦ ¸ÍÃß°ÝÇÏ°í ÀÖ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¶óÀΠŬ¸°·ë¿¡¼­ ¿¬±¸¿øµéÀÌ °øÁ¤À» »ìÇÇ´Â Àå¸é. »ï¼ºÀüÀÚ Á¦°ø


(2) »ï¼º, ¹ÝµµÃ¼ »ç¾÷ ´Ù°¢È­

ÆÄ¿îµå¸® Æ÷ÇÔ ½Ã½ºÅۺоß
¹Ì·¡ ¸Ô°Å¸®·Î ÁýÁß À°¼º
1À§Þä TSMC ºü¸£°Ô Ãß°Ý

¿Ã 5³ª³ë ±â¼ú °³¹ß ¿Ï·á
7³ª³ë Á¦Ç° °ø±Þ º»°ÝÈ®´ë

È­¼º EUV°øÀå ÁØ°ø ´«¾Õ
¡°ÃÊ°ÝÂ÷ Àü·«À¸·Î 1À§ µµ¾à¡±


photoŬ¸¯ÇÏ½Ã¸é ´õ Å«À̹ÌÁö¸¦ º¸½Ç ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù

¡°¸Þ¸ð¸®(¹ÝµµÃ¼)¿¡ À̾, ÆÄ¿îµå¸®(¹ÝµµÃ¼ À§Å¹ »ý»ê)¸¦ Æ÷ÇÔÇÑ ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ºÐ¾ß¿¡¼­µµ È®½ÇÈ÷ 1µîÀ» Çϵµ·Ï ÇÏ°Ú½À´Ï´Ù. ±»Àº ÀÇÁö¿Í ¿­Á¤, ±×¸®°í ²ö±â¸¦ °®°í ²À Çس»°Ú½À´Ï´Ù.¡±(ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ ºÎȸÀå, Áö³­ 4¿ù 30ÀÏ ¡®½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ ºñÀü ¼±Æ÷½Ä¡¯¿¡¼­)

»ï¼ºÀüÀÚ°¡ ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼¸¦ Â÷¼¼´ë Áַ»ç¾÷À¸·Î Á¤ÇØ ½Å¼ºÀå µ¿·Â È®º¸¿¡ °­ÇÑ µå¶óÀ̺긦 °É°í ÀÖ´Ù. ¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼¿¡ ÀÌ¾î ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼¿¡¼­µµ ¡®ÃÊ°ÝÂ÷¡¯¸¦ ÅëÇØ ±Û·Î¹ú 1À§·Î µµ¾àÇÑ´Ù´Â Æ÷ºÎ´Ù.

¡Þ¸Þ¸ð¸® 1À§ ³Ñ¾î ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼µµ ±Û·Î¹ú ¼öÁØÀ¸·Î = 18ÀÏ °ü·Ã¾÷°è¿¡ µû¸£¸é, »ï¼ºÀüÀÚ´Â ÃÖ±Ù ½Å¼ºÀå µ¿·ÂÀ¸·Î Â÷¼¼´ë ±â¼úÀÎ ±ØÀڿܼ±(EUV) ¹Ì¼¼°øÁ¤¿¡¼­ ¼¼°è ÃÖÃÊ·Î 7³ª³ë EUV Á¦Ç°À» ³»³õÀº µ¥ À̾î 5³ª³ë, 3³ª³ë·Î À̾îÁö´Â Ãʹ̼¼°øÁ¤ ±â¼ú °æÀï·Â È®º¸¿¡ ³ª¼­°í ÀÖ´Ù. ¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼ 1À§¿¡ ¸Ó¹°Áö ¾Ê°í »õ·Î¿î ¹Ì·¡ ¸Ô°Å¸®·Î ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼¸¦ ³«Á¡, ÀÌ ¿ª½Ã ¼¼°è 1À§ ¼öÁØÀ¸·Î ²ø¾î¿Ã¸®±â À§ÇØ ¿¬±¸¡¤°³¹ß(R&D)¿¡ ¹ÚÂ÷¸¦ °¡ÇÏ°í ÀÖ´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ´Â Áö³­ 4¿ù ¼¼°è ÃÖÃÊ·Î 7³ª³ë EUV Á¦Ç°À» ÃâÇÏÇØ ´ç½Ã ½ÃÇè »ý»ê ÁßÀ̾ú´ø ±Û·Î¹ú ÆÄ¿îµå¸® 1À§ ´ë¸¸ ±â¾÷ÀÎ TSMC¸¦ ºü¸£°Ô Ãß°ÝÇϱ⠽ÃÀÛÇß´Ù. ´ç½Ã ¾÷°è¿¡¼­´Â ¡°»ï¼ºÀüÀÚÀÇ ÃÊ°ÝÂ÷ ±â¼ú·ÂÀÌ ¸Þ¸ð¸®¸¦ ³Ñ¾î ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼¸¦ »ý»êÇÏ´Â ÆÄ¿îµå¸®¿¡¼­µµ ¹ßÈֵƴ١±´Â Æò°¡°¡ ³ª¿Ô´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ´Â ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼°¡ ¹Ì·¡¸¦ À̲ø¾î°¥ ½Å»ê¾÷ÀÌ µÉ °ÍÀ¸·Î ÆÇ´Ü, ÀÏÂġ ¹ÝµµÃ¼ »ç¾÷ ´Ù°¢È­¿¡ ³ª¼¹´Ù. ¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼¿¡ ÆíÁßµÈ »ê¾÷ Æ÷Æ®Æú¸®¿À¿¡¼­ ¹þ¾î³ª ¹Ì·¡ ¸Ô°Å¸®·Î ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ »ê¾÷À» À°¼ºÇÏ°Ú´Ù´Â °èȹ¿¡ Âø¼öÇß´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â 2017³â 5¿ù ÆÄ¿îµå¸®ÆÀÀ» »ç¾÷ºÎ·Î ½Â°ÝÇØ ¹ÝµµÃ¼ À§Å¹»ý»ê¿¡ º»°ÝÀûÀ¸·Î µµÀüÇß´Ù. ±× ù ½ÃÇè ¹«´ë·Î 2017³â ÃʺÎÅÍ »ï¼ºÀüÀÚ¿Í TSMC ¸ðµÎ EUV¸¦ È°¿ëÇÑ 7³ª³ë °øÁ¤ °³¹ß °èȹÀ» ¹àÈ÷¸ç ¹Ì¼¼°øÁ¤ °³¹ß °æÀïÀÌ º»°ÝÈ­µÆ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â 2018³â 2¿ù Ä÷ÄÄ°ú 7³ª³ë ÆÄ¿îµå¸® Çù·Â È®´ë¸¦ °ø½Ä ¹ßÇ¥, ±×ÇØ 10¿ù ¡®»ï¼ºÅ×Å©µ¥ÀÌ 2018¡¯¿¡¼­ EUV ±â¼úÀ» Àû¿ëÇÑ ÆÄ¿îµå¸® 7³ª³ë °øÁ¤(7LPP) °³¹ßÀ» ¿Ï·áÇÏ°í »ý»ê¿¡ Âø¼öÇß´Ù°í ¹àÈ÷¸é¼­ ¾÷°è¸¦ ³î¶ó°Ô Çß´Ù.

ÀÌ·Î½á »ï¼ºÀüÀÚ´Â 7³ª³ë ÀÌÇÏ ¹Ì¼¼°øÁ¤ °³¹ß °æÀï¿¡¼­ TSMC¿Í ¾çÀÚ±¸µµ¸¦ ¸¸µå´Â µ¥ ¼º°øÇß´Ù. ¾÷°è¿¡¼­´Â EUV¸¦ Àû¿ëÇÑ 7³ª³ë Á¦Ç°ÀÇ ½ÇÁ¦ Ãâ½Ã ½Ã±â¿Í ¹æ½Ä µî¿¡ Å« °ü½ÉÀ» º¸¿´´Ù. ¶Ç »ï¼ºÀüÀÚÀÇ ºñ¾àÀûÀÎ ¼ºÀå¿¡ ÁÖ¸ñÇß´Ù. ±× °úÁ¤¿¡¼­ »ï¼ºÀüÀÚ´Â ÆÄ¿îµå¸® Æ÷·³, ¸ÖƼÇÁ·ÎÁ§Æ®¿þÀÌÆÛ(MPW) Áö¿ø È®´ë, ÆÄ¿îµå¸® ¿¡ÄڽýºÅÛ ÇÁ·Î±×·¥ÀÎ ¡®¼¼ÀÌÇÁ¡¯(SAFE¡¤Samsung Advanced Foundry Ecosystem) °­È­ µîÀ» ÅëÇØ ²ÙÁØÈ÷ °í°´»ç¸¦ ´Ã·È´Ù. ±âÁ¸ ¸ñÇ¥´ë·Î ¾à 100¾ï ´Þ·¯ÀÇ ¸ÅÃâÀ» ¿Ã¸®¸ç 2018³â ¾÷°è 2À§¸¦ ´Þ¼ºÇÏ´Â °á½ÇÀ» º¸¾Ò´Ù.

photoŬ¸¯ÇÏ½Ã¸é ´õ Å«À̹ÌÁö¸¦ º¸½Ç ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù


¡Þ3³ª³ë±îÁö À̾îÁö´Â Ãʹ̼¼°øÁ¤ ÁÖµµ±Ç Áå´Ù = »ï¼ºÀüÀÚ°¡ Ãʹ̼¼ °øÁ¤ÀÇ ÁÖµµ±ÇÀ» Áã°Ô µÇ¸é¼­, »ó´ëÀûÀ¸·Î Ãë¾àÇÑ ±¹³» ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ ¼ºÀå °¡´É¼ºÀ» È®ÀÎ, ±¹³» ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ »ýÅ°è±îÁö °­È­ÇÏ´Â °á°ú¸¦ ²ø¾î³Â´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ´Â ½Ã½ºÅÛ LSI »ç¾÷ºÎ°¡ ¼³°èÇØ ÆÄ¿îµå¸® »ç¾÷ºÎ°¡ À§Å¹ÇÏ´Â »ý»ê ±¸Á¶¸¦ °®´Âµ¥, ±¹³» ÆÕ¸®½º ¾÷üµé ¿ª½Ã »ï¼ºÀüÀÚ ÆÄ¿îµå¸®¸¦ ÀÌ¿ëÇØ Ãʹ̼¼°øÁ¤ Á¦Ç°À» »ý»êÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÆ´Ù. ƯÈ÷, 5¼¼´ë(G), ÀΰøÁö´É(AI), »ç¹°ÀÎÅͳÝ(IoT), ÀÚÀ²ÁÖÇàÀ¸·Î ´ëÇ¥µÇ´Â 4Â÷ »ê¾÷Çõ¸í ½Ã´ë¸¦ ¸Â¾Æ ÆÄ¿îµå¸® ±â¼ú·ÂÀÇ ¹ßÀüÀº ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ »ê¾÷À» À°¼ºÇØ ³ª°¥ ¼ö ÀÖ´Â Åä´ë·Î È°¿ëµÈ´Ù´Â Á¡¿¡¼­ Àǹ̰¡ Å©´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ´Â ¿ÃÇØ 4¿ù ¡®ÃÖ÷´Ü 5³ª³ë ÆÄ¿îµå¸® °øÁ¤ °³¹ß¡¯À» ¼±¾ðÇϸ鼭 4¿ù ¾ÈÀ¸·Î 7³ª³ë Á¦Ç°À» ÃâÇÏÇÏ°Ú´Ù°í ¹àÈù µÚ 30ÀÏ 7³ª³ë Á¦Ç° ÃâÇϸ¦ ½ÃÀÛÇß´Ù. ¾÷°è ÃÖÃÊ EUV¸¦ È°¿ëÇÑ 7³ª³ë Á¦Ç° ÃâÇÏ·Î EUV¸¦ È°¿ëÇÑ °øÁ¤ÀÌ ¾ÈÁ¤´Ü°è¿¡ Á¢¾îµé¾ú´Ù´Â °ÍÀ» Áõ¸íÇÑ °ÍÀÌ´Ù. ÀÌ·Î½á »ï¼ºÀüÀÚ´Â 7³ª³ë ÀÌÈÄ 3³ª³ë µî Â÷¼¼´ë Ãʹ̼¼°øÁ¤¿¡¼­µµ ¿ìÀ§ÀÇ °æÀï·ÂÀ» È®º¸ÇÏ°Ô µÆ´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ´Â ÃÖ±Ù 3ºÐ±â ½ÇÀû¹ßÇ¥ ÈÄ ÄÜÆÛ·±½ºÄÝ¿¡¼­ ¡°7³ª³ë EUV´Â 1ºÐ±â¿¡ ¾ç»êÀ» ½ÃÀÛÇÑ ÀÌÈÄ ¾ÈÁ¤Àû ¼öÀ²À» ±â·ÏÇÏ°í ÀÖ¾î ¿¹Á¤´ë·Î 4ºÐ±â¿¡ °í°´À» ½Å±ÔÃß°¡Çؼ­ °ø±ÞÀ» È®´ëÇÒ ¿¹Á¤¡±À̶ó¸ç ¡°7³ª³ë EUV·Î »ý»êµÇ´Â 5G °ü·Ã ĨÀÇ ¼ö¿ä°¡ Å« ÆøÀ¸·Î ¿Ã¶ó ´ç»ç ¸ÅÃâÁõ°¡¿¡ Å©°Ô ±â¿©ÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ´Â ¿¬³» 6³ª³ë Á¦Ç° »ý»ê °èȹÀ» ¹àÇûÀ¸¸ç, ±â¼ú °³¹ßÀ» ¿Ï·áÇÑ 5³ª³ëºÎÅÍ ·Îµå¸ÊÀ» ¹àÈù 3³ª³ë±îÁö Ãʹ̼¼°øÁ¤¿¡¼­ÀÇ ±â¼ú °æÀï·ÂÀ» ²ÙÁØÈ÷ À¯ÁöÇÒ °èȹÀÌ´Ù. EUV °øÁ¤ÀÇ ÇÙ½É ½Ã¼³ÀÌ µÉ °æ±â È­¼º EUV ¶óÀεµ ³»³â »ó¹Ý±â º»°ÝÀûÀÎ ¾ç»ê¿¡ µé¾î°£´Ù.

»ï¼ºÀüÀÚ °ü°èÀÚ´Â ¡°Ãʹ̼¼ °øÁ¤¿¡ ÀÖ¾î 7³ª³ë EUVÀÇ ¼º°øÀº ±× µÚ·Î À̾îÁö´Â 5³ª³ë, 3³ª³ë ¹Ì¼¼°øÁ¤ÀÇ ±â¼ú °æÀï·Â ¹× ÁÖµµ±Ç È®º¸ Ãø¸é¿¡¼­µµ À¯¸®ÇÑ °íÁö¸¦ Á¡Çß´Ù´Â Àǹ̰¡ ÀÖ´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.

ÀÌÀºÁö ±âÀÚ eun@munhwa.com

£¯ Á¦ÀÛÈÄ¿ø£¯
»ï¼ºÀüÀÚ, Çö´ëÀÚµ¿Â÷±×·ì, SK, LG, ·Ôµ¥, ÇÑÈ­, À̸¶Æ®, ÇÑÁø, CJ, ±ÝÈ£¾Æ½Ã¾Æ³ª, ³×À̹ö
°ü·Ã±â»ç
ÀÌÀºÁö
ÁÖ¿ä´º½º
±â»ç´ñ±Û
AD
count
AD
AD
AD
ADVERTISEMENT